粉末方阻測試儀主要由主機(jī)、測試架及四探針頭組成本儀器的特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。

　　粉末方阻測試儀所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動轉(zhuǎn)換量程;測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長;測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。

　　粉末方阻測試儀可測量半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等。測量方式：平面測量。電壓表采用雙數(shù)字電壓表，可同時觀察電流、電壓變化。

　　粉末方阻測試儀的恒流源：

　　A.電流輸出：直流電流0.003～100 mA連續(xù)可調(diào)，有交流電源供給

　　B.量程：10uA，100uA，1 mA，10 mA，100 mA五檔

　　C.恒流源精度：各檔均≤±0.05%

　　粉末方阻測試儀的測量系統(tǒng)

　　KDY測量系統(tǒng)設(shè)計語言：VC++，可對四探針、兩探針電阻率測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測量數(shù)據(jù)，特定數(shù)據(jù)存儲格式，顯示變化曲線。

　　兼容性：適用于通用電腦，支持Windows XP。

　　粉末方阻測試儀的四探針頭介紹：

　　A.探頭間距1.59㎜

　　B.探針機(jī)械游率：±0.3%

　　C.探針直徑0.8㎜

　　D.探針材料：碳化鎢，探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。

　　測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)、定向結(jié)晶多晶硅的電阻率，測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層以及導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻測量。

　　探針間距1.00mm的探針頭適合測量直徑小于50mm的的直徑單晶片。探針間距1.59mm的探針頭相對精度高，在SEMI標(biāo)準(zhǔn)中為仲裁探針頭，適合測量直徑大于50mm的的大直徑單晶片，因為探針直徑較粗更加耐磨且不易斷針，所以尤其適合測量硅、鍺單晶棒、塊。

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